真空化學氣相沉積爐

產品概述：

化學氣相沉積爐由沉積室、供氣系統和排氣系統組成，是以電阻加熱或者感應加熱的方式，在真空環境下，通入沉積氣體，并在高溫下產生裂解后沉積到工件上，使復合材料得到致密化處理的生產設備。

應用領域：碳碳制品、熱解石墨、耐熱物質涂層、粉末合成

功能特點：操作簡單、維護方便、可制備多種類型涂層及復合材料、產品致密均勻，純度和晶粒度高

性能參數：